形成黄铜矿薄膜太阳能电池的方法 CN201310542497.5
本形成黄铜矿薄膜太阳能电池的方法。在本发明形成CIGS薄膜吸收层的方法中,提供包括第一衬底的第一前体,第一衬底上形成有主要工艺前体膜,主要工艺前体膜包含Cu、In、Ga和Se中的两种或多种。提供包括第二衬底的第二前体,第二衬底上形成有元素供应前体膜,元件供应前体膜包含Cu、In、Ga和Se中的两种或多种。使主要工艺前体膜和元素供应前体膜相互面对来定向前体,以允许退火期间元素在薄膜之间扩散。对定向后的薄膜进行退火,然后分离前体,其中,CIGS薄膜形成在第一衬底上方,而CIGS薄膜或包含Cu、In、Ga和Se中的两种或多种的前体膜保留在第二衬底上方。
专利类型:发明
专利号:
201310542497.5专利申请日:
2013.11.05公开(公告)日:
2015.02.25申请(专利权)人:
台积太阳能股份有限公司发明(设计)人:
吴忠宪; 李文钦国别省市:
china台湾;71