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管式PERC双面太阳能电池及其制备方法和专用设备 CN201710353392.3
本发明公开了一种管式PERC双面太阳能电池,包括背银主栅、铝栅线、背面复合膜、P型硅、N型发射极、正面钝化膜和正银电极;所述背面复合膜包括三氧化二铝膜、二氧化硅膜、氮氧化硅膜和氮化硅膜中的一种或多种,且采用管式PECVD设备在硅片背面沉积而成,所述管式PECVD设备...
更新:
2017-10-18 12:41:53
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