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一种防止EL污染的太阳能电池板刻蚀工艺 CN201710259492.X


本发明涉及电池片刻蚀技术领域,具体为一种防止EL污染的太阳能电池板刻蚀工艺,包括以下步骤:步骤1,镀膜准备,在待刻蚀硅片的上、下表面均镀上一层铝膜;步骤2,初级除杂;步骤3,次级除杂,浸入初级刻蚀液中;步骤4,去除剩余铝膜;步骤5,刻蚀准备;步骤6,进行刻蚀。本发明通过初级除杂时铝膜、氧气以及变温加热的效果,实现对硅片的除杂,然后通过次级除杂时的初级刻蚀液与铝膜的反应作用,使得铝膜对硅片内部的杂质进一步吸附,从而更好的实现硅片除杂功能,在硅片的刻蚀过程中,通过初级除杂和次级除杂的作用,在刻蚀的同时有效的防止EL污染,减少漏电电池板和隐裂电池板的产生,非常有效。
专利类型:发明
专利号:201710259492.X
专利申请日:2017.04.20
公开(公告)日:2017.06.13
申请(专利权)人:通威太阳能(合肥)有限公司;
发明(设计)人:李亮亮; 苏世杰; 张玉前; 查志军; 陈世琴;
国别省市:安徽;34


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