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太阳能电池片的制造工艺 CN201210511495.5


本发明涉及一种制作太阳能电池片的工艺,它包括:清洗、制融、扩散、去磷硅玻璃、镀膜、印刷和烧结;其特征在于:所述的扩散工艺是指将晶硅基片在温度为800-900℃,氧气流量为900-1100L/min,大氮流量1750-1800L/min,小氮流量为1750-1800L/min的情况下与氧气和三氯氧磷反应上形成PN结;所述的去磷硅玻璃工序和镀膜工序之间还有碱清洗工序,所述的碱清洗工序包括以下步骤:(1)碱洗,用碱溶液与硅片表面反应;(2)水洗,用水冲洗硅片表面的碱溶液;(3)中和,再用弱酸中和表面残留的碱;(4)水洗,水洗硅片表面残留的弱酸;(5)脱水干燥,将经过上述步骤的硅片脱水干燥。
专利类型:发明
专利号:201210511495.5
专利申请日:2012.12.04
公开(公告)日:2014.06.11
申请(专利权)人:东方日升新能源股份有限公司
发明(设计)人:林海峰;高慧慧;曾学仁;唐坤友;陈国标
国别省市:浙江;33


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