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一种太阳能电池的钝化层及其制备工艺 CN201410031473.8


本发明公开了一种太阳能电池的钝化层及其制备工艺,其特征是钝化层是由氧化钆(Gd2O3)构成。其制备工艺为先用原子层沉积法在P型或N型晶体硅片的P型一侧沉积氧化钆钝化层,然后进行退火处理,在钝化层与P型或N型晶体硅衬底的P型一侧之间形成SiO2缓冲层,完成钝化层的制备。本发明的钝化层,晶格匹配好,具有场效应钝化和化学钝化的双重作用,钝化效果良好。采用本发明的制备工艺,获得的钝化层晶体结构完整,缺陷密度低,与晶硅衬底晶格匹配性好,保证了电池的钝化效果。
专利类型:发明
专利号:201410031473.8
专利申请日:2014.01.23
公开(公告)日:2014.04.23
申请(专利权)人:通用光伏能源(烟台)有限公司
发明(设计)人:罗伟;刘吉人;万资仁;唐维泰;余钦章;李文艳;李爱丽;潘若宏;张志红
国别省市:山东;37


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