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N型MWT太阳能电池结构及其制造工艺 CN201310008854.X


一种N型MWT太阳能电池结构,MWT太阳能电池的背面采用铝结和N型硅片形成P—N结。这种电池结构的工艺步骤为:原硅片预处理:对硅片进行表面减反的绒面制备,完成后形成N型带绒面硅片基底;利用三氯氧磷对硅片进行扩散,形成N+区,完成扩散后将磷硅玻璃去除;再在扩散后的硅片N+正表面利用化学气相沉积的方式沉积SiNx正表面减反钝化层,形成正表面减反钝化膜;选用紫外激光器,在完成SiNx沉积后的硅片表面打通孔。背面通孔浆料印刷:对准通孔位置印刷通孔银浆;背面铝浆印刷:按指定图形进行铝浆印刷,印刷后铝浆与通孔银浆互不接触;正面栅线印刷:按指定的图形进行正面银浆印刷,印刷后需和通孔银浆形成电学接触;高温金属共烧结:用于形成电极和硅的良好接触,以及形成P+型掺杂区,与衬底N型硅片形成P—N结。本发明能简化工艺,降低电池电极的接触电阻,同时降低生产成本。
专利类型:发明
专利号:201310008854.X
专利申请日:2013.01.10
公开(公告)号:
公开(公告)日:2013.04.10
分类号:
申请(专利权)人:常州天合光能有限公司
发明(设计)人:盛健
国别省市:江苏;32


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