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发明专利一种非晶碳薄膜/单晶硅异质结太阳能电池及其制备方法 CN201710566633.2
本发明公开了一种非晶碳薄膜/单晶硅异质结太阳能电池及其制备方法,该方法包括以下步骤:清洗P型单晶硅片;以氢气稀释的硅烷为反应气体,P型单晶硅上表面沉积一层非晶硅薄膜;再以高纯甲烷和高纯氮气为反应气体,在非晶硅薄膜表面沉积一层掺氮非晶碳薄膜;再在非晶碳薄膜表...
更新:2017-12-27 13:41:14  查阅全文...
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